微型壓力傳感器適用于各種科研實(shí)驗及其精密儀器設備。常用于空氣動(dòng)力測、流體力學(xué),水工試驗、葉片機、水輪機及水下兵器試驗、液壓動(dòng)力、空氣動(dòng)力學(xué)、飛行器及發(fā)動(dòng)機、風(fēng)洞試驗等許多科研領(lǐng)域,那么它的應用前景是什么樣的呢?下面小編就為大家簡(jiǎn)單介紹一下。
微型壓力傳感器可以用類(lèi)似集成電路的設計技術(shù)和制造工藝,進(jìn)行高精度、低成本的大批量生產(chǎn),從而為消費電子和工業(yè)過(guò)程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用壓力傳感器打開(kāi)方便之門(mén),使壓力控制變得簡(jiǎn)單、易用和智能化。
傳統的機械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形,由機械量彈性變形到電量轉換輸出,因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣,像集成電路那么微小,而且成本也遠遠高于MEMS壓力傳感器。相對于傳統的機械量傳感器,壓力傳感器的尺寸更小,最大的不超過(guò)一個(gè)厘米,相對于傳統“機械”制造技術(shù),其性?xún)r(jià)比大幅度提高。
微型壓力傳感器廣泛應用于汽車(chē)電子如TPMS、發(fā)動(dòng)機機油壓力傳感器、汽車(chē)剎車(chē)系統空氣壓力傳感器、汽車(chē)發(fā)動(dòng)機進(jìn)氣歧管壓力傳感器(TMAP)、柴油機共軌壓力傳感器。
消費電子如胎壓計、血壓計、櫥用秤、健康秤,洗衣機、洗碗機、電冰箱、微波爐、烤箱、吸塵器用壓力傳感器,空調壓力傳感器,洗衣機、飲水機、洗碗機、太陽(yáng)能熱水器用液位控制壓力傳感器。工業(yè)電子如數字壓力表、數字流量表、工業(yè)配料稱(chēng)重等。
典型的微型壓力傳感器管芯(die)結構和電原理,左是電原理圖,即由電阻應變片組成的惠斯頓電橋,右為管芯內部結構圖。典型的MEMS壓力傳感器管芯可以用來(lái)生產(chǎn)各種壓力傳感器產(chǎn)品。
微型壓力傳感器管芯可以與儀表放大器和ADC管芯封裝在一個(gè)封裝內(MCM),使產(chǎn)品設計師很容易使用這個(gè)高度集成的產(chǎn)品設計最終產(chǎn)品。