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      微型壓力傳感器的設計方案及應用有哪些?答案在這!

      來(lái)源:南京愛(ài)爾傳感 發(fā)布時(shí)間:2020-05-09 14:03 瀏覽量:

        微型壓力傳感器是最為常用的一種傳感器,主要用來(lái)測量氣體和液體的壓強,其廣泛應用于各種工業(yè)自控環(huán)境,水處理、石化行業(yè)等,可能大家對它還不是很了解,在此小編特地為大家整理了相關(guān)資料,下面就微型壓力傳感器的設計方案和應用等方面來(lái)為大家介紹一下吧!
       


       

      微型壓力傳感器的設計方案:

        雙面接觸式電容微型壓力傳感器有4個(gè)工作區,第Ⅰ區是正常區,梁未接觸到襯底上的絕緣層,當傳感器工作在這一段時(shí),接觸式電容微型壓力傳感器與傳統的硅微型壓力傳感器一樣。當梁快要接近接觸點(diǎn)的時(shí)候,傳感器單位面積上受到的壓力與產(chǎn)生的電容呈非線(xiàn)性關(guān)系。

        第Ⅱ區是過(guò)渡區,梁開(kāi)始接觸到襯底上的絕緣層,C-p曲線(xiàn)呈非線(xiàn)性關(guān)系,電容從梁未接觸到襯底到開(kāi)始接觸襯底轉變。第Ⅲ區是線(xiàn)性區,梁與襯底上的絕緣層開(kāi)始有效接觸,而且傳感器的電容將隨著(zhù)壓力的增加而線(xiàn)性增大。第Ⅳ區是飽和區C-p曲線(xiàn)略呈非線(xiàn)性關(guān)系,隨著(zhù)壓力的繼續增加,非線(xiàn)性將更明顯。

        雙面接觸式電容微型壓力傳感器的電容由兩部分組成:一部分為梁受壓后,尚未接觸到襯底上的絕緣層時(shí)形成的電容,此電容類(lèi)似于常規的電容微型壓力傳感器,這一部分只占接觸式電容微型壓力傳感器的電容量的很小一部。

        另一部分是梁接觸到襯底后形成的電容,這部分電容量才是需要的電容量,而且它占主導地位,較多采用的是國產(chǎn)品牌電容,如三環(huán)電容、風(fēng)華電容,也可選擇臺企電容巨頭——YAGEO電容(即國巨電容)作為所選電容。

        當壓力增加時(shí),梁與襯底的接觸面積增加,同時(shí)梁與襯底的非接觸部分減少。剛開(kāi)始,電容主要由非接觸部分提供,隨著(zhù)壓力的增加,梁開(kāi)始接觸襯底的絕緣層后,非接觸部分提供的電容逐漸減少,而接觸部分提供的電容與接觸面積將呈線(xiàn)性增加。由于絕緣層非常薄,因此當梁開(kāi)始與襯底上的絕緣層接觸后,接觸面積所提供的電容將占主導地位。

        微型壓力傳感器的應用:

        1、微型壓力傳感器在稱(chēng)重系統中的應用

        在工業(yè)控制技術(shù)的商用稱(chēng)重系統中,壓力傳感技術(shù)越來(lái)越多的被應用。以微型壓力傳感器制作的壓力控制裝置一般稱(chēng)為電子稱(chēng)重系統,電子稱(chēng)重系統作為各種工業(yè)過(guò)程中物料流動(dòng)的在線(xiàn)控制工具顯得越來(lái)越重要。電子稱(chēng)重系統既能組合在產(chǎn)品制造過(guò)程中優(yōu)化生產(chǎn),提高產(chǎn)品質(zhì)量,又能把有關(guān)生產(chǎn)過(guò)程中物料流動(dòng)的數據加以采集并傳送到數據處理中心,作為在線(xiàn)庫存控制和財務(wù)結算之用。

        2、微型壓力傳感器在水處理行業(yè)的應用

        微型壓力傳感器將壓力(一般指液體或氣體的壓力)轉換為電信號輸出,該壓力電信號也可進(jìn)而用于測量靜態(tài)流體的液位,因此可用來(lái)測量液位。微型壓力傳感器的敏感組件主要有硅杯敏感元件、硅油、隔離膜片和導氣管組成,被測介質(zhì)壓力P通過(guò)隔離膜片和硅油傳遞到硅杯元件的一側(見(jiàn)圖),大氣參考壓po通過(guò)導氣管作用到硅杯元件的另一側,硅杯元件是一個(gè)底部加工得很薄 的杯形單晶硅片。杯底膜片在壓力P和Po做用下產(chǎn)生位移極小的彈性變形,單晶硅是理想的彈性體,其變形與壓力成嚴格的正比關(guān)系,而且復原性能又極好。

        3、微型壓力傳感器在石化行業(yè)的應用

        微型壓力傳感器是石化行業(yè)自動(dòng)控制中使用最多的測量裝置之一。在大型的化工項目中,幾乎包含了所有微型壓力傳感器的應用:差壓、絕壓、表壓、高壓、微差壓、高溫、低溫,以及各種材質(zhì)及特殊加工的遠傳法蘭式微型壓力傳感器。
       

        以上就是有關(guān)微型壓力傳感器的設計方案及應用的介紹,想要了解更多相關(guān)知識敬請關(guān)注本站。

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